TY - RPRT U1 - Forschungsbericht T1 - Messsystem zur hochauflösenden Charakterisierung von mikromechanischen Drucksensoren N2 - Forschungsbericht Projektleiter: Klaus Eden Forschungsschwerpunkt: Fahrzeugsensorik Zeitraum: 2003-2005 Mitarbeiter: W. Schreiber-Prillwitz, R. Bornefeld, O. Stöver Kooperation: ELMOS Semiconductor AG Dortmund Förderung: ELMOS AG Projektabwicklung: GEMINUS e. G., Dortmund Y2 - 2005 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:dm13-18476 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:dm13-18476 SP - 2 S1 - 2 ER -