@techreport{OPUS4-1847, title = {Messsystem zur hochaufl{\"o}senden Charakterisierung von mikromechanischen Drucksensoren}, url = {https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:dm13-18476}, pages = {2}, year = {2005}, abstract = {Forschungsbericht Projektleiter: Klaus Eden Forschungsschwerpunkt: Fahrzeugsensorik Zeitraum: 2003-2005 Mitarbeiter: W. Schreiber-Prillwitz, R. Bornefeld, O. St{\"o}ver Kooperation: ELMOS Semiconductor AG Dortmund F{\"o}rderung: ELMOS AG Projektabwicklung: GEMINUS e. G., Dortmund}, language = {de} }